[发明专利]一种扩散炉在审
| 申请号： | 201610467386.6 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN107546294A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 周银峰 | 申请（专利权）人： | 周银峰 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/00;C30B31/06 |
| 代理公司： | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙)51239 | 代理人： | 刘华平 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉，包括炉体和隔热门，炉体上设置有废气排气管，其特征在于：所述废气排气管上设置有管接头，所述隔热门包括外板和内板，外板与内板之间设置有连接筋，外板与内板之间还设置有隔热层，所述炉体的外壁上设置有保温层，保温层与炉体之间设置有温度监控仪。
2.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于：所述隔热层为石棉、玻璃棉、岩棉、渣棉、漂白土纤维、绿坡石或海泡石中的一种或多种制成。
3.根据权利要求1所述的扩散炉，其特征在于：所述保温层为石英棉。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
