[发明专利]微小空间内表面放电清洗方法和装置

权利要求书

1.微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：包括强场空间容器和真空系统(3)，真空系统(3)包括用于抽真空的抽气装置和用于充入清洗气体的充气装置；抽气装置和充气装置均连接待清洗工件(2)内部的微小空间(7)，待清洗工件(2)有若干个；待清洗工件(2)置于强场空间容器内；强场空间容器连接用于在其内部空腔内产生电磁场(6)的辐射源。

2.根据权利要求1所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：辐射源包括电源(5)以及与电源(5)相连的若干个振荡源；每个振荡源均分别通过隔离器同强场空间容器相连。

3.根据权利要求2所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：振荡源采用输出功率在100W以上且输出频率在0.9～5.9GHz的振荡器(1)；振荡器(1)均匀分布在强场空间容器外侧且为微波电子管或半导体器件。

4.根据权利要求1所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：真空系统(3)中设置有真空计。

5.根据权利要求1所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：清洗气体为待清洗工件(2)的工作气体。

6.根据权利要求1所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：强场空间容器包括屏蔽外壳(9)，屏蔽外壳(9)上设置带屏蔽网的观察窗(10)。

7.根据权利要求1所述的微小空间内表面放电清洗装置，其特征在于：待清洗工件(2)的材料为玻璃或陶瓷；微小空间(7)为内径在1～20毫米的毛细管或圆泡。

8.微小空间内表面放电清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：

a)首先将待清洗工件(2)内部的微小空间(7)与真空系统(3)相连，并将待清洗工件(2)放入强场空间容器内；将强场空间容器与用于在其内部空腔内产生电磁场(6)的辐射源相连；

b)通过真空系统(3)将微小空间(7)内抽真空，然后通过真空系统(3)向微小空间(7)内充入清洗气体；

c)启动辐射源产生电磁场(6)，使清洗气体放电清洗微小空间(7)内表面，最后通过真空系统(3)放气，完成清洗。

9.根据权利要求8所述的微小空间内表面放电清洗方法，其特征在于：步骤b)中抽真空后气压不高于1Pa；充入清洗气体直至气压为20～20000Pa。

10.根据权利要求8所述的微小空间内表面放电清洗方法，其特征在于：步骤c)中清洗气体放电后如果变色，则重复步骤b)直至清洗气体放电不再变色，通过真空系统(3)放气，完成清洗。