[发明专利]靶材组件的焊接方法

权利要求书

1.一种靶材组件的焊接方法，其特征在于，包括：

提供靶材和背板，所述靶材具有第一焊面，所述背板具有第二焊面；

采用摩擦焊接工艺焊接第一焊面和第二焊面。

2.根据权利要求1所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述靶材还具有与第一焊面相对的溅射面；所述背板还具有与第二焊面相对的背面。

3.根据权利要求2所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述摩擦焊接工艺的过程包括：

采用第一旋转夹具固定所述背板，所述第一旋转夹具用于使背板围绕背板的轴线旋转；

采用移动夹具固定所述靶材，第一焊面朝向第二焊面设置，所述靶材的轴线和所述背板的轴线重合；

启动移动夹具向第一旋转夹具移动；

所述第一焊面接触第二焊面后，第一焊面相对第二焊面进行摩擦而生热；

摩擦结束后，移动夹具朝向第一旋转夹具进给顶锻。

4.根据权利要求2所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述摩擦焊接工艺的过程包括：

采用第二旋转夹具固定所述靶材，所述第二旋转夹具用于使靶材围绕靶材的轴线旋转；

采用移动夹具固定所述背板，第一焊面朝向第二焊面设置，所述背板的轴线和所述靶材的轴线重合；

启动移动夹具向第二旋转夹具移动；

所述第一焊面接触第二焊面后，第一焊面相对第二焊面进行摩擦而生热；

摩擦结束后，移动夹具朝向第二旋转夹具进给顶锻。

5.根据权利要求3所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，还包括：第一焊面接触第二焊面后，启动第一旋转夹具旋转，使第一焊面相对第二焊面进行摩擦；或者在第一焊面接触第二焊面前，启动第一旋转夹具旋转。

6.根据权利要求4所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，还包括：第一焊面接触第二焊面后，启动第二旋转夹具旋转，使第一焊面相对第二焊面进行摩擦；或者在第一焊面接触第二焊面前，启动第二旋转夹具旋转。

7.根据权利要求3所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在第一焊面相对第二焊面进行摩擦的过程中，所述第一焊面和第二焊面相接触的面积小于等于1600平方厘米；所述第一旋转夹具的转速为100转/分钟～8000转/分钟。

8.根据权利要求7所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料为铝；所述背板的材料为铝合金。

9.根据权利要求8所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在所述移动夹具朝向第一旋转夹具进给顶锻的过程中，施加的压强为10兆帕～100兆帕，保压时间为0秒～10秒。

10.根据权利要求7所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料为钛或铜，所述背板的材料为铝合金或者铜合金。

11.根据权利要求10所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在所述移动夹具朝向第一旋转夹具进给顶锻的过程中，施加的压强为20兆帕～150兆帕，保压时间为0秒～20秒。

12.根据权利要求4所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在第一焊面相对第二焊面进行摩擦的过程中，所述第一焊面和第二焊面相接触的面积小于等于1600平方厘米；所述第二旋转夹具的转速为100转/分钟～8000转/分钟。

13.根据权利要求12所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材料为铝；所述背板的材料为铝合金。

14.根据权利要求13所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在所述移动夹具朝向第二旋转夹具进给顶锻的过程中，施加的压强为10兆帕～100兆帕，保压时间为0秒～10秒。

15.根据权利要求12所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，所述靶材的材 料为钛或铜，所述背板的材料为铝合金或者铜合金。

16.根据权利要求15所述的靶材组件的焊接方法，其特征在于，在所述移动夹具朝向第二旋转夹具进给顶锻的过程中，施加的压强为20兆帕～150兆帕，保压时间为0秒～20秒。