[发明专利]等离子体增强磁控溅射系统及方法在审
| 申请号： | 201610458183.0 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105862005A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 石永敬;孙建春;原金海;周安若;吴英 | 申请（专利权）人： | 重庆科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/46;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 增强 磁控溅射 系统 方法 | ||
【说明书】：
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