[发明专利]具有摆动式喷头的二极管清洗装置及清洗方法有效
| 申请号： | 201610455928.8 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN105921445B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 石治洪;陈林;朱灿;欧博;文海 | 申请（专利权）人： | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 商小川 |
| 地址： | 550025 贵州省贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 二极管 喷头 清洗槽 升降板 清洗 移动部 驱动 摆动机构 清洗系统 清洗装置 驱动装置 摆动式 供水管 气动升降机构 固定设置 横向设置 喷头设置 清洗效率 人工清洗 人力成本 转动机构 往复式 转动 升降 占用 | ||
【权利要求书】：
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