[发明专利]SiC晶体的制造方法有效
| 申请号： | 201610455007.1 | 申请日： | 2016-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN106256931B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 关章宪;石川由加里 | 申请（专利权）人： | 丰田自动车株式会社;一般财团法人日本精细陶瓷中心 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B25/00;C30B25/20;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | sic 晶体 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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