[发明专利]一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构、设备及填充方法

权利要求书

1.一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于，所述喷嘴片结构包括：

喷嘴片面板；所述面板包括上表面和下表面；

贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；

与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；

至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。

2.根据权利要求1所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述引流槽为线型引流槽，包括：

与所述通孔连通的线型主槽；

至少两条两端分别与所线型述主槽、所述通气槽连通的线型喷嘴槽。

3.根据权利要求2所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述线型主槽两侧均垂直连通有至少两条所述线型喷嘴槽。

4.根据权利要求2所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述线型喷嘴槽的宽度大于所述通气槽的宽度。

5.根据权利要求2所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述线型喷嘴槽的深度范围是1-1000微米，宽度范围是1-1000微米。

6.根据权利要求1所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述引流槽为面型引流槽，包括与所述通孔连通的面型槽；所述面型槽侧面与所述通气槽连通。

7.根据权利要求6所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述面型槽的外侧面轮廓为圆形。

8.根据权利要求6所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述面型槽的深度范围是1-1000微米。

9.根据权利要求1所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述引流槽为面补偿型引流槽，包括：

至少两条与所述通孔连通的线型喷嘴槽；

内侧面与外侧面分别与所述线型喷嘴槽、所述通气槽连通的面型槽。

10.根据权利要求9所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述面型槽的深度范围是1-1000微米；所述线型喷嘴槽的深度范围是1-1000微米，宽度范围是1-1000微米。

11.根据权利要求1所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述通孔位于所述面板下表面的开口面积大于或等于其位于所述面板上表面的开口面积。

12.根据权利要求1所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述通孔位于所述面板的中心或偏离所述面板的中心。

13.根据权利要求12所述的用于微腔金属填充的喷嘴片结构，其特征在于：所述面板在水平面上的投影为圆形。

14.一种微腔金属填充设备，其特征在于：所述微腔金属填充设备包括如权利要求1-13任意一项所述的喷嘴片结构。

15.一种微腔金属填充方法，其特征在于，所述微腔金属填充方法使用如权利要求1-13任意一项所述的喷嘴片结构。

16.根据权利要求15所述的微腔金属填充方法，其特征在于，所述微腔金属填充方法包括如下步骤：

提供一液态金属槽，在所述液态金属槽上水平放置自下而上依次由所述喷嘴片结构、填充片及盖片叠加而成的三明治结构；其中，所述喷嘴片下表面紧贴槽内液态金属的上表面；所述填充片中具有填充微腔；所述填充微腔为上下贯穿所述填充片的通腔或仅贯穿所述填充片下表面的盲腔；

调整所述三明治结构的内部气压P₁及所述液态金属的表面气压P₂，使二者的气压差达到第一预设值，以将所述液态金属槽中的液态金属通过所述喷嘴片结构吸入所述填充微 腔，完成所述填充微腔的金属填充；

进一步调整所述三明治结构的内部气压P₁及所述液态金属的表面气压P₂，使二者的气压差达到第二预设值，以将液态金属在所述填充片与所述喷嘴片结构界面处断开。

17.根据权利要求16所述的微腔金属填充方法，其特征在于：当所述填充微腔为通腔时，所述盖片与所述填充片之间设有通气间隙。