[发明专利]一种氧化铝抛光液的制备方法有效
| 申请号： | 201610445394.0 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106010297B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 汪为磊;刘卫丽;宋志棠 | 申请（专利权）人： | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 高燕;许亦琳 |
| 地址： | 201506 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 抛光 制备 方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所，未经上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610445394.0/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗静电硅胶保护膜
- 下一篇：一种双橡胶速凝喷涂防水涂料及其制备方法
