[发明专利]一种昼夜两用分划元件的照相制作方法有效
| 申请号： | 201610444430.1 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106094239B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张成群;陈俊霞;任玉河;苏颖;陈菊意;龚涛;程萍;田军;刘海伟;张勇;白涛 | 申请（专利权）人： | 河南平原光电有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/32 | 分类号： | G02B27/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454001 河南省焦*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃腐蚀液 照相底版 昼夜两用 烘干 光坯 照相 负性光刻胶 浸入 比例配制 表面疵病 接触曝光 控制转速 离心涂胶 清水冲洗 氢氟酸 漂洗 磷酸 后烘 胶层 可调 前烘 涂覆 脱膜 显影 修光 硫酸 制作 着色 取出 图案 侧面 曝光 检测 检验 制造 检查 | ||
【权利要求书】：
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