[发明专利]一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法有效
| 申请号： | 201610427140.6 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN106124166B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 邵建达;刘世杰;王圣浩;王微微;张志刚;周游;徐天柱;鲁棋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯;张宁展 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 大口径光栅 衍射效率 测量 二维扫描机构 测量装置 参考光探测器 垂直方向扫描 光纤测量头 安全隐患 测量过程 测量数据 测量系统 传输光纤 单个位置 参考光 测量光 测试光 单色器 分束镜 复现性 位置处 衍射光 样品台 探测器 构建 光源 参考 保证 | ||
【说明书】：
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