[发明专利]双栅电极氧化物薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201610423845.0 | 申请日： | 2016-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN106098786A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 谢应涛 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;侯艺 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 氧化物 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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