[发明专利]一种利用硅纳米管制备超高α相氮化硅的方法有效
| 申请号: | 201610416082.7 | 申请日: | 2016-06-15 |
| 公开(公告)号: | CN105884374B | 公开(公告)日: | 2018-10-30 |
| 发明(设计)人: | 赵立旸;戎华;李钦稿;杜英 | 申请(专利权)人: | 杭州硅诺科技有限公司 |
| 主分类号: | C04B35/584 | 分类号: | C04B35/584;C04B35/65 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 310000 浙江省杭州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 利用 纳米 制备 超高 氮化 方法 | ||
【说明书】:
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