[发明专利]高灵敏度微纳巨压阻雨量传感器及其制备方法、测量结构有效
| 申请号： | 201610408475.3 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106125163B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张加宏;陈剑翔;刘清惓;李敏;李美蓉 | 申请（专利权）人： | 南京信息工程大学 |
| 主分类号： | G01W1/14 | 分类号： | G01W1/14 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210019 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 异质结 硅铝 雨量传感器 传感单元 高灵敏度 引出电极 测量 压阻 制备 传感器阵列单元 传感器两端 传感器芯片 传感器阵列 二氧化硅层 参考电路 侧部设置 伏安特性 供电电极 机械应力 激励电极 检测电极 接触势垒 平行设置 特性一致 信号检测 压力敏感 压阻效应 雨量测量 参考 灵敏度 传感器 顶层 受力 绝缘 应用 | ||
【权利要求书】：
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