[发明专利]一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件

权利要求书

1.一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，包括圆形基底(1)、大叉指换能器(2)、下隔膜(3)、小叉指换能器组(4)、上隔膜(5)以及温控结构(6)，其中大叉指换能器(2)溅射在圆形基底(1)上；下隔膜(3)溅射于圆形基底(1)上并将大叉指换能器(2)覆盖；小叉指换能器组(4)溅射在隔膜(3)上；上隔膜(5)溅射在隔膜(3)上并将小叉指换能器组(4)覆盖；温控结构(6)溅射在上隔膜(5)上；

所述大叉指换能器(2)由一对渐开线叉指和圆形反射栅(10)组成，渐开线的基圆(9)直径为2毫米，基圆(9)的圆心与圆形基底(1)的圆心重合，渐开线展开角度为1080度，渐开线的外围布有圆形反射栅(10)。

2.根据权利要求1所述的一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，所述圆形基底(1)材质为压电材料铌酸锂晶体。

3.根据权利要求1所述的一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，所述下隔膜(3)、下隔膜(5)均为二氧化硅薄膜。

4.根据权利要求1所述的一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，所述圆形基底(1)高度为500μm，大叉指换能器(2)、小叉指换能器组(4)以及温控结构(6)的高度为50nm；上隔膜(5)和下隔膜(3)的高度为70nm。

5.根据权利要求1所述的一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，所述小叉指换能器组(4)由若干结构相同的渐开线叉指换能器组成，渐开线叉指的展开角度为1080度，渐开线的基圆的圆心均匀分布在基圆(9)上，数个渐开线叉指对均匀设置，渐开线的基圆半径按需求设定。

6.根据权利要求1所述的一种适用于混合、颗粒富集与分离的微化学反应器件，其特征在于，所述温控结构(6)由帕尔贴(7)和测温电阻(8)组成，帕尔贴(7)、测温电阻(8)以及基圆(9)为同心圆。