[发明专利]一种制备柔性热敏薄膜材料的方法有效
| 申请号： | 201610405808.7 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN106048527B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 吴敬;黄志明;周炜;江林;欧阳程;高艳卿;张飞;褚君浩 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/28;H01C7/04 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 溅射沉积 热敏薄膜 聚对苯二甲酸乙二醇酯 非制冷红外焦平面 读出电路芯片 聚酰亚胺薄片 射频磁控溅射 温度电阻系数 有机柔性衬底 半导体工艺 薄膜电阻率 高温热处理 降低器件 节能环保 聚酰亚胺 热敏元件 陶瓷靶材 预压成型 直接制备 烧结 研磨 常温下 衬底片 热敏型 响应率 富氧 过筛 耗能 细磨 沉积 薄膜 噪声 兼容 合成 制作 | ||
【说明书】：
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