[发明专利]双金属线圈的电磁驱动微镜有效
| 申请号： | 201610399981.0 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN105866942B | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 沈文江;余晖俊 | 申请（专利权）人： | 常州创微电子机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司32234 | 代理人： | 徐萍 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 双金属 线圈 电磁 驱动 | ||
【权利要求书】：
1.一种双金属线圈的电磁驱动微镜，包括固定框架，所述固定框架内围设有镜面组件，外围为磁场系统；其特征在于，
镜面组件包括扭转镜板，扭转镜板两侧分别通过扭转轴与固定框架连接，所述扭转镜板上环绕有驱动线圈，驱动线圈两侧分别引出输入端和输出端导线，所述导线采用金材质的金属线，驱动线圈采用镍或铜材质的金属线，且导线与驱动线圈的厚度为可调节式的。
2.根据权利要求1所述的双金属线圈的电磁驱动微镜，其特征在于，输入端和输出端导线分别从两侧的扭转轴引出，并与连接芯片上的金属电极连接。
3.根据权利要求1所述的双金属线圈的电磁驱动微镜，其特征在于，所述扭转镜板上环绕的驱动线圈中至少包括一圈封闭式线圈。
4.根据权利要求3所述的双金属线圈的电磁驱动微镜，其特征在于，所述驱动线圈相围形成的区域内设有反射镜面。
5.根据权利要求1所述的双金属线圈的电磁驱动微镜，其特征在于，所述驱动线圈和导线设于扭转镜板一侧，扭转镜板另一侧为反射镜面。
6.根据权利要求1所述的双金属线圈的电磁驱动微镜，其特征在于，磁场系统包括多个永磁体组成。
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