[发明专利]一种氧化钒膜层的制备方法有效
| 申请号： | 201610391091.5 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN105861989B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 詹勇军;徐刚;肖秀娣;程浩亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院广州能源研究所 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/58;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州科粤专利商标代理有限公司 44001 | 代理人： | 莫瑶江 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 钒膜层 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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