[发明专利]化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法在审
| 申请号： | 201610390615.9 | 申请日： | 2016-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN105922126A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;梅黎黎 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B29C39/02;C08G18/12;C08G18/48;C08G18/38;C08G18/76 |
| 代理公司： | 武汉开元知识产权代理有限公司 42104 | 代理人： | 涂洁 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 检测 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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