[发明专利]基板缺陷位置定位方法及装置和系统有效
| 申请号： | 201610389092.6 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106093073B | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张祥 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缺陷 位置 定位 方法 装置 系统 | ||
【说明书】：
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