[发明专利]一种面向光解水制氢的集成器件及其制作方法有效
申请号: | 201610387877.X | 申请日: | 2016-06-02 |
公开(公告)号: | CN107464881B | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 廖广兰;孙博;史铁林;汤自荣;刘智勇;吴悠妮 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | H01L51/42 | 分类号: | H01L51/42;C25B1/04 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 梁鹏 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 面向 光解 水制氢 集成 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种面向光解水制氢的集成器件,其包括光阳极(11)、钙钛矿太阳能电池(12)及光阴极(13),其特征在于:
所述光阳极(11)与所述钙钛矿太阳能电池(12)的透明导电基底绝缘贴合,并与所述钙钛矿太阳能电池(12)的对电极电性连接;所述光阳极(11)采用带隙在2.5eV以上的半导体活性材料薄膜,且所述薄膜厚度小于3μm,使得所述光阳极(11)吸收紫外光而让50%以上的可见光通过,通过所述光阳极(11)的可见光激发所述钙钛矿太阳能电池(12)产生偏压;
所述对电极与所述光阴极(13)绝缘贴合,所述光阴极(13)与所述钙钛矿太阳能电池(12)的透明导电基底电性连接;
所述光阳极(11)及所述光阴极(13)暴露出来,所述集成器件的其他部分均被密封。
2.如权利要求1所述的面向光解水制氢的集成器件,其特征在于:所述光阳极(11)是由ZnO半导体、TiO2半导体、Fe2O3半导体及WO3半导体中的任一种制成的。
3.如权利要求1所述的面向光解水制氢的集成器件,其特征在于:所述光阴极(13)上沉积有如下薄膜中的一种:Pt薄膜、NiMo合金薄膜、MoS2薄膜。
4.如权利要求1所述的面向光解水制氢的集成器件,其特征在于:所述透明导电基底为柔性导电基底;所述集成器件为柔性集成器件。
5.一种面向光解水制氢的集成器件的制作方法,其特征在于:所述面向光解水制氢的集成器件的制作方法包括以下步骤:
a)在透明导电基底上制备光阳极(11),所述光阳极(11)为带隙在2.5eV以上的半导体活性材料薄膜,所述薄膜厚度小于3μm,使得所述光阳极(11)吸收紫外光而让50%以上的可见光通过;
b)在透明导电基底上制备太阳能电池(12),其余可见光穿过所述光阳极(11)激发所述太阳能电池(12)产生偏压;
c)制备光阴极(13);
d)将所述光阳极(11)的透明导电基底与所述太阳能电池(12)的透明导电基底绝缘贴合,并将所述光阴极(13)与所述太阳能电池(12)的对电极绝缘贴合;
e)将所述光阳极(11)的透明导电基底与所述太阳能电池(12)的对电极电性连接,并将所述光阴极(13)与所述太阳能电池(12)的透明导电基底电性连接;其中,在步骤e)之后还包括对在步骤e)制作成的集成器件进行密封处理的步骤,所述集成器件除所述光阳极(11)及所述光阴极(13)之外的部分均被密封。
6.如权利要求5所述的面向光解水制氢的集成器件的制作方法,其特征在于:所述光阳极(11)的透明导电基底上形成有纳米结构,所述纳米结构为以下纳米结构中的一种:纳米薄膜、TiO2纳米颗粒、ZnO纳米棒。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择