[发明专利]一种外延缺陷的处理方法在审
申请号: | 201610384817.2 | 申请日: | 2016-06-02 |
公开(公告)号: | CN106025000A | 公开(公告)日: | 2016-10-12 |
发明(设计)人: | 刘冠洲;毕京锋;李明阳;宋明辉;李森林;陈文浚 | 申请(专利权)人: | 天津三安光电有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 缺陷 处理 方法 | ||
【说明书】:
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