[发明专利]一种碳化硅外延炉的配件处理方法在审
| 申请号： | 201610377959.6 | 申请日： | 2016-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN106087039A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 吕立平 | 申请（专利权）人： | 瀚天天成电子科技（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B29/36 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市翔安区翔星*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 外延 配件 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
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