[发明专利]一种掺杂金合金键合丝及其深冷处理制备方法有效

专利信息
申请号: 201610373064.5 申请日: 2016-05-31
公开(公告)号: CN106011516B 公开(公告)日: 2018-01-23
发明(设计)人: 吴国防;李凯;王玉忠;邢路剑;肖超;杨爱国;王宇航;杜中元;杜津 申请(专利权)人: 河北德田半导体材料有限公司
主分类号: C22C5/02 分类号: C22C5/02;C22F1/14;C22C1/03;B22D11/116;B22D11/041;B21C37/04
代理公司: 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司13100 代理人: 张志国
地址: 055150 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 掺杂 合金 键合丝 及其 冷处理 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种掺杂金合金键合丝,由下列重量百分比构成:金60%~80%、钯0.5%~3.5%,其余为银;在其制备过程中,对所述掺杂金合金键合丝进行2次低温深冷处理;

第1次低温深冷处理:将所述掺杂金合金键合丝在500℃~750℃保温10h~24h,然后于-30℃~-100℃保持5s~10s;

第2次低温深冷处理:将所述掺杂金合金键合丝在400℃~700℃保温0.5h~3h,然后于-20℃~-80℃保持5s~10s。

2.根据权利要求1所述的一种掺杂金合金键合丝,其特征在于:所述金的纯度≥99.99%,所述银的纯度≥99.99%,所述钯的纯度≥99.99%。

3.权利要求1~2中的任一种掺杂金合金键合丝深冷处理制备方法,包括以下步骤:

步骤一:将金、银和钯清洗,烘干备用;

步骤二:制备金银合金铸锭:将金和银置于真空合金炉中,得到金银合金铸锭;

步骤三:制备银钯合金棒:将银和钯置于真空下拉连铸炉中,得到银钯合金棒;

步骤四:制备掺杂金合金棒:按重量百分比,将一定量的金、金银合金铸锭、银钯合金棒放入真空下拉连铸炉中,抽真空加热,采用定向凝固方法,下拉连铸得到掺杂金合金棒;

步骤五:均匀化深冷处理:将所述步骤四得到的掺杂金合金棒置于热处理炉中保温,然后迅速置于液氮中进行均匀化深冷处理;

步骤六:粗拉伸:将经所述步骤五深冷处理后的掺杂金合金棒粗拉伸成线材;

步骤七:晶粒细化深冷处理:将所述步骤六得到的线材置于热处理炉中保温,然后迅速置于液氮中进行晶粒细化深冷处理;

步骤八:表面清洗:将经过所述步骤七深冷处理后的线材先用氢氧化钠溶液清洗,再用去离子水冲清洗并烘干;

步骤九:中拉伸:将经所述步骤八清洗后的线材中拉伸成直径更小的线材;

步骤十:细拉伸:将所述步骤九得到的线材细拉伸成直径更小的丝材;

步骤十一:微细拉伸:将所述步骤十得到的丝材进行微细拉伸,拉伸成掺杂金合金键合丝;

步骤十二:热处理:将所述步骤十一得到的掺杂金合金键合丝置于连续退火系统中,进行连续退火处理;

步骤十三:复绕分装:将所述步骤十二处理后的掺杂金合金键合丝单卷定尺。

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