[发明专利]一种锥形微孔阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 201610370690.9 | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106006545B | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 张凤林;王鹏;刘文广;王超超;谢小柱 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/04 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锥形 微孔 阵列 及其 制备 方法 | ||
1.一种锥形微孔阵列的制备方法，所述锥形微孔阵列是在非金属薄膜上打孔得到的，包括以下步骤：
制作锥形微孔阵列图形文件，设计微孔入口图形孔径为20-50μm；使脉冲激光焦点落于非金属薄膜的表面，然后根据锥形微孔阵列图形文件沿着圆周方向扫描打孔，即在非金属薄膜上制备得到锥形微孔阵列；
所述脉冲激光波长为980-1064nm，功率为20-100w，激光频率为20-50KHz，脉宽为20-200ns，扫描次数为500-1000次；
所述锥形微孔阵列中锥形微孔的入口孔径为50-100μm，孔深为0.1-0.5mm，出口孔径为1-10μm，所述非金属薄膜为金刚石薄膜或硅片。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述锥形微孔阵列图形文件中设置微孔中心线间距为100-500μm。
3.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述非金属薄膜的厚度为0.1-0.5mm，表面粗糙度在0.1-1μm。
4.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述脉冲激光的激光单脉冲能量在200-400μJ，扫描速度在300-500mm/s。
5.如权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，对具有锥形微孔阵列的非金属薄膜进行后处理，具体是浸于乙醇中进行超声清洗10-20min，干燥即可。
6.一种锥形微孔阵列，由如权利要求1所述方法制备得到，所述锥形微孔阵列中锥形微孔的入口孔径为50-100μm，孔深为0.1-0.5mm，出口孔径为1-10μm。
7.如权利要求6所述的锥形微孔阵列，其特征在于，所述锥形微孔阵列中锥形微孔的顶部锥角在50°-60°，底部锥角在0°-10°。
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