[发明专利]旋转靶驱动装置有效
| 申请号： | 201610357014.8 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105821389A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 谢守荣;余华骏;叶光岱;陈游;黄颖 | 申请（专利权）人： | 东莞南玻工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;郝传鑫 |
| 地址： | 523141 广东省东莞市麻涌镇新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转 驱动 装置 | ||
【说明书】：
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