[发明专利]一种靶材边缘之铝熔射层的检测方法有效
| 申请号： | 201610353584.X | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105925945B | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 胡彬彬;王东 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G01N27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 边缘 铝熔射层 检测 方法 | ||
【说明书】：
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