[发明专利]滚花加工装置及其使用方法

说明书

本发明提供一种滚花加工装置及其使用方法，其中，滚花加工装置包括：滚轮、刀头、刀柄和固定部，所述刀头包括第一刀头端和第二刀头端，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接，所述第二刀头端与所述刀柄一端通过第二铰轴铰接，所述第一铰轴与所述第二铰轴垂直，所述固定部用于在垂直于所述第二铰轴的方向上固定所述刀头。所述滚花加工装置的刀头的方向可以调节，能够对表面具有不同切平面的待加工件进行加工。因此，所述滚花加工装置能够提高花纹的加工效率，降低生产成本。

技术领域

本发明涉及半导体溅射靶材制造领域，尤其涉及一种滚花加工装置及其使用方法。

背景技术

溅射工艺是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)中的一种，是指以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量逸出固体表面而到达基板的工艺。

通常情况下，溅射镀膜过程中，金属离子从溅射靶材表面溅射出来，沿多个不同方向离开靶材表面，这样，到达基板上的靶材料很少，大部分靶材料被浪费了。为了避免这种问题，溅射设备中设置聚焦环，所述聚焦环用于将离子汇聚到基板上。

在溅射过程中，为了防止掉落在聚焦环表面的溅射原子脱落，聚焦环表面具有花纹，所述花纹用于提高聚焦环的粗糙程度以增加聚焦环对溅射原子的吸附能力。聚焦环表面的花纹是通过安装在设备上的滚花刀具挤压材料表面产生的。

然而，聚焦环表面花纹的加工方法具有效率较低，生产成本较高的缺点。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种滚花加工装置及其使用方法，能够提高聚焦环表面花纹的加工效率，降低生产成本。

为解决上述问题，本发明提供一种滚花加工装置，包括：刀头，包括第一刀头端和第二刀头端；滚轮，所述滚轮与所述第一刀头端通过第一铰轴铰接；刀柄，所述刀柄一端与所述第二刀头端通过第二铰轴铰接，所述第二铰轴与所述第一铰轴垂直；固定部，用于使所述刀头和所述刀柄相对固定。

可选的，所述固定部包括：连接件和紧固件；所述连接件一端与所述刀头连接，所述连接件的另一端与所述刀杆连接，所述连接件包括条形孔；所述紧固件包括：紧固杆和位于所述紧固杆一端的紧固头，所述紧固头的直径大于所述条形孔的宽度，所述紧固杆的另一端穿过所述条形孔，且深入所述刀柄内。

可选的，所述连接件与所述刀头固定连接；所述连接件为半圆形；所述连接件在圆心处与所述第二刀头端固定连接；所述条形孔为与所述连接件共圆心的圆弧形。

可选的，所述第二铰轴与所述刀头固定连接；所述连接件与所述第二铰轴固定连接。

可选的，所述刀柄具有第一孔，所述第一孔贯穿所述刀柄；所述第二铰轴贯穿所述第一孔。

可选的，所述连接件与所述刀头通过第三铰轴铰接，所述第三铰轴一端连接所述连接件，所述第三铰轴的另一端连接所述刀头。

可选的，所述连接件为长方形，所述连接件一端与所述刀头铰接；所述条形孔为长方形。

可选的，所述紧固杆侧壁表面具有螺纹；所述刀柄包括螺纹孔，所述紧固杆与所述紧固头相对的一端位于所述螺纹孔中。

可选的，所述紧固件为螺栓。

相应的，本发明还提供一种滚花加工装置的使用方法，包括：提供待加工件和滚花加工装置，所述待加工件表面包括一个或多个待加工区，所述待加工区任一点处的切平面均相同；调节所述刀头的位置，使所述刀头带动所述滚轮绕所述第二铰轴转动，直至所述滚轮的母线与所述待加工区的切平面平行；调节所述刀头的位置之后，通过所述固定部固定所述刀头；固定所述刀头之后，通过滚轮对所述待加工区进行滚花处理。