[发明专利]一种晶圆处理方法

权利要求书

1.一种晶圆处理方法，其特征在于，

包括如下步骤：

装载步骤，将晶圆以垂直于水平面的方式浸入预先注满超纯水的浸泡槽内；

冲水步骤，对所述晶圆进行快速冲排，以去除所述晶圆表面残留化学液；

惰性气体干燥步骤，关闭挡板，通过惰性气体供给单元向腔体内通入惰性气体的同时排出浸泡槽里的超纯水，并使所述腔体内部压强保持在第一压强，其中，所述第一压强不小于所述腔体外部压强；

有机溶剂蒸汽干燥步骤，当所述浸泡槽内的水排净时，通过有机溶剂蒸汽供给单元向腔体内通入有机溶剂蒸汽，在预设时间内，将所述腔内压强自所述第一压强降低至第二压强，所述有机溶剂蒸汽干燥步骤包括：恒压干燥步骤，在预设时间内，将所述腔体内的压强保持在所述第一压强，同时向所述腔体内通入有机溶剂蒸汽；和降压干燥步骤，逐步将所述腔体内的压强自所述第一压强降低至所述第二压强，同时向所述腔体内通入有机溶剂蒸汽，通过降低腔内压强的形式而控制并加快少量水分的蒸发；

升温干燥步骤，停止气体供给，通过温度调控系统将所述腔体内温度升至预设温度；以及，

取出步骤，通过所述惰性气体供给单元向所述腔体内通入惰性气体直到所述腔体内压强与所述腔体外部压强相同，取出所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的晶圆处理方法，其特征在于，

所述向腔体内通入有机溶剂蒸汽具体包括如下步骤：

使所述惰性气体和有机溶剂分别经由气体流量计和液体流量计进入雾化装置，并通过温控器调节温度，使有机溶剂以蒸汽形式经由喷淋头均匀地与所述晶圆表面接触。

3.根据权利要求1所述的晶圆处理方法，其特征在于，

所述惰性气体为氮气，所述有机溶剂蒸汽为异丙醇蒸汽。