[发明专利]一种使用团簇靶材的电子加速器设备

权利要求书

1.一种使用团簇靶材的电子加速器设备，其特征在于，包括：

用于提供真空环境的真空靶室；

用于通过其中的超声速喷嘴将气体提供到所述真空靶室以产生团簇的气体输运组件；

用于提供激光以与团簇反应的激光器，所述激光器的激光对比度在10^-6～10^-8之间；以及

用于控制所述激光器发出激光的时间与所述气体从所述超声速喷嘴中喷出的时间之间的延时的装置，所述延时在0～18ms之间。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述气体为氩气。

3.根据权利要求1-2中任意一项所述的设备，其中所述气体输运组件的气体背压为0～5MPa之间。

4.根据权利要求3所述的设备，其中所述超声速喷嘴为直径3mm的圆形超声速气体喷嘴。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述延时为10ms。

6.一种用于如权利要求1-5中任意一项所述使用团簇靶材的电子加速器设备的方法，包括：

在10^-6～10^-8之间选择激光器的激光对比度；

在0～18ms之间选择激光器发出激光的时间与气体从超声速喷嘴中喷出的时间之间的延时。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括：

在0～5MPa之间选择气体背压。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述气体为氩气。

9.根据权利要求8所述的方法，还包括：

调节所述气体从超声速喷嘴中喷出的流量。

10.根据权利要求6-9中任意一项所述的方法，还包括：

将激光器发出激光的时间与所述气体从超声速喷嘴中喷出的时间之间的延时设置为10ms。