[发明专利]一种轴承的复合层制备方法及其轴承有效
申请号: | 201610339587.8 | 申请日: | 2016-05-19 |
公开(公告)号: | CN105970215B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 陆利民;陆丹寅 | 申请(专利权)人: | 无锡铠骏机械制造有限公司 |
主分类号: | C23C28/00 | 分类号: | C23C28/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/35;C23C16/27 |
代理公司: | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人: | 高之波;储振 |
地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 轴承 复合层 碳化钨 铬膜层 膜层 沉积 制备 磁控溅射沉积 磁控溅射镀膜 类金刚石膜层 基材表面 轴承表面 氩气气氛 靶材 等离子体化学气相沉积法 氩气等离子 摩擦系数 使用寿命 乙炔气体 金刚石 阴电极 石墨 烘干 放入 轰击 清洗 室内 | ||
【说明书】:
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