[发明专利]使用多个电感和电容设备来施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的系统和方法

权利要求书

1.一种用于使用多个设备来施用多种等离子体条件以确定匹配网络模型的固定参数的方法，其包括：

接收在第一设备的输入端测量的第一输出阻抗；

接收在阻抗匹配网络的输入端测量的第一输入阻抗，其中，在所述阻抗匹配网络的输出端连接到所述第一设备的输入端时测量所述第一输入阻抗；

接收在第二设备的输入端测量的第二输出阻抗；

接收在所述阻抗匹配网络的输入端测量的第二输入阻抗，其中，当所述阻抗匹配网络的输出端连接到所述第二设备的输入端时，测量所述第二输入阻抗；

在匹配网络模型的输出端施用第一测量的输出阻抗，以当所述匹配网络模型被分配第一频率、第一可变电容、第一固定电感、第一固定电容和第一固定电阻时计算在所述匹配网络模型的输入端的第一预测的输入阻抗；

在所述匹配网络模型的输出端施用第二测量的输出阻抗，以当所述匹配网络模型被分配第二频率、第二可变电容、所述第一固定电感、所述第一固定电容和所述第一固定电阻时计算在所述匹配网络模型的输入端的第二预测的输入阻抗；

判定所述第一预测的输入阻抗是否在离第一测量的输入阻抗的预先确定的范围内以及所述第二预测的输入阻抗是否在离第二测量的输入阻抗的预先确定的范围内；以及

在确定所述第一预测的输入阻抗在离所述第一测量的输入阻抗的预先确定的范围内以及所述第二预测的输入阻抗在离所述第二测量的输入阻抗的预先确定的范围内时，分配所述第一固定电感、所述第一固定电容和所述第一固定电阻至所述匹配网络模型。

2.根据权利要求1所述的方法，

其中，在所述阻抗匹配网络的输入端连接到在第一频率下操作的网络分析器的输出端时，针对所述阻抗匹配网络的第一可变电容测量所述第一测量的输入阻抗，

其中，在所述阻抗匹配网络的输入端连接到在第二频率下操作的所述网络分析器的输出端时，针对所述阻抗匹配网络的第二可变电容测量所述第二测量的输入阻抗，

所述方法还包括：

判定所述第一测量的输入阻抗是否在预先确定的阻抗的预先确定的阈值之内；

在确定所述第一测量的输入阻抗在所述预先确定的阻抗的预先确定的阈值之内时存储所述第一频率和所述第一可变电容；

判定所述第二测量的输入阻抗是否在预先确定的阻抗的预先确定的阈值之内；以及

在确定所述第二测量的输入阻抗在所述预先确定的阻抗的预先确定的阈值之内时存储第二频率和第二可变电容。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一测量的输入阻抗由网络分析器测量，其中所述第一测量的输入阻抗是复数值，其中所述阻抗匹配网络的输入端被配置成耦合到所述阻抗匹配网络的分支电路，其中在晶片的处理过程中所述分支电路被配置为耦合到RF产生器。

4.根据权利要求1所述的方法，其中在所述阻抗匹配网络的输入端连接到在第一频率下操作的网络分析器的输出端时针对所述阻抗匹配网络的第一可变电容测量所述第一测量的输入阻抗，其中所述阻抗匹配网络的所述第一可变电容是所述阻抗匹配网络的一个或多个可变电容器的组合的可变电容。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一设备是用于获得S11测量值的负载阻抗设备，所述第二设备是用于获得S11测量值的负载阻抗设备。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述第二输入阻抗由网络分析器测量，其中所述第二输入阻抗是复数值，其中所述阻抗匹配网络的输入端被配置成耦合到所述阻抗匹配网络的分支电路，其中在晶片的处理过程中所述分支电路被配置为耦合到RF产生器。

7.根据权利要求1所述的方法，其中在所述阻抗匹配网络的输入端连接到在第二频率下操作的网络分析器的输出端时针对所述阻抗匹配网络的第二可变电容测量所述第二测量的输入阻抗，其中所述阻抗匹配网络的所述第二可变电容是所述阻抗匹配网络的一个或多个可变电容器的组合的可变电容。

8.根据权利要求1所述的方法，其中判定所述第一预测的输入阻抗是否在离所述第一测量的输入阻抗的预先确定的范围内与判定所述第二预测的输入阻抗是否在离所述第二测量的输入阻抗的预先确定的范围内同时进行。