[发明专利]一种液刀及具有该液刀的显影液清洗装置有效
申请号: | 201610330646.5 | 申请日: | 2014-01-27 |
公开(公告)号: | CN105842998B | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 陈朋;于洪禄;郭光龙;王涛;叶超;李星火 | 申请(专利权)人: | 北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;B08B11/04;B08B3/02 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 显影液 清洗 装置 | ||
【说明书】:
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