[发明专利]三氯氢硅合成炉有效
| 申请号： | 201610326284.2 | 申请日： | 2016-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN106006647B | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 鲍明锐;蔡俊雄;郭庆元;刘毅;王兰华 | 申请（专利权）人： | 山东瑞川硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 陈书华 |
| 地址： | 256600 山东省滨*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅 合成 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氯氢硅合成炉，包括中间壳体，所述中间壳体的内部设置有换热管，所述中间壳体的上部设置有上壳体，下部设置有梯形壳体，所述梯形壳体的下部设置有下壳体，其特征在于，所述下壳体与梯形壳体的连接处设置有气体分布板，所述气体分布板上均匀设置有旋转喷管和圆柱喷管，所述旋转喷管与圆柱喷管交叉设置，所述气体分布板上设置有用于容纳旋转喷管和圆柱喷管的容纳孔，所述旋转喷管的外侧面上设置有喷孔，所述圆柱喷管侧壁上设置有斜喷孔，所述斜喷孔与水平面的夹角为α，所述α为45°~60°，所述下壳体的侧壁上设置有进气管，所述中间壳体的侧壁上设置有硅粉进管，所述硅粉进管上设置有硅粉喷射器，所述梯形壳体与下壳体之间通过螺栓固定连接，所述中间壳体与上壳体之间通过螺栓固定连接，所述中间壳体与梯形壳体之间通过螺栓固定连接。
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