[发明专利]一种MEMS加速度传感器及制造方法有效
| 申请号： | 201610312471.5 | 申请日： | 2016-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN106018879B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 周志健;朱二辉;陈磊;杨力建;邝国华 | 申请（专利权）人： | 广东合微集成电路技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 张海英;林波 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度 传感器 制造 方法 | ||
【说明书】：
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