[发明专利]一种多分枝耦合结构的X波段高温超导三工器及制备方法

权利要求书

1.一种制备多分枝耦合结构的X波段高温超导三工器的制备方法，其特征在于，所述三工器包括A、B和C三个滤波器，其中，各滤波器均为由1×N的谐振器阵列构成；各滤波器刻蚀在高温超导材料薄膜上；三个滤波器输入馈线并联；采用镀金封装盒对三工器进行封装，三工器输入输出端口采用K连接器；各滤波器之间设有金属屏蔽板，所述金属屏蔽板将各滤波器及其超导材料薄膜进行隔断；所述金属屏蔽板上设有通孔，在通孔处采用硅铝合金丝连接被金属屏蔽板隔断的输入馈线；所述谐振器为均匀阻抗矩形谐振器；

所述制备方法包括如下步骤：

第一步，根据三工器各滤波通道的性能指标，分别制备每一个滤波通道的滤波器，且各滤波器的回波损耗在20dB以下；

第二步，将滤波器A和滤波器B的输入馈线并联，采用阻抗匹配法进行双工器设计，双工器的每个通道的端口阻抗虚部在另一个通道的中心频点的绝对值大于200Ω；

第三步，将第二步获得的双工器作为整体，对双工器和滤波器C的输入阻抗进行匹配，调整双工器和滤波器C的输入馈线的长度，使得双工器的输入端口阻抗虚部在滤波器C中心频点的绝对值大于200Ω，滤波器C的输入端口阻抗虚部在双工器的两个通带中心频点的绝对值均大于200Ω；

第四步，采用多分枝线将双工器和滤波器C的输入馈线并联，获得三工器电路结构；

第五步，将第四步获得三工器电路结构刻蚀在超导材料薄膜上，并采用镀金封装盒进行封装；在各滤波器之间设置金属屏蔽板，所述金属屏蔽板将各滤波器及其超导材料薄膜进行隔断；所述金属屏蔽板上设有通孔，在通孔处采用硅铝合金丝连接被金属屏蔽板隔断的输入馈线。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第一步中，采用综合网络方法制备滤波器。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述第四步中，双工器和滤波器C的输入馈线并联后，对滤波器A、滤波器B、滤波器C的输入馈线长度进行微调，减小三工器的每个通带的反射系数；同时对三工器每个滤波器内的谐振器间距进行微调，减小三工器的每个通带的反射系数。