[发明专利]一种亚微米量级的玻璃亚表面缺陷检测装置及方法有效
| 申请号： | 201610302192.0 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN105842257B | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 高万荣;伍秀玭;张运旭;郭英呈;朱珊珊;史伟松;刘浩;廖九零;朱越;卞海溢 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/958 | 分类号： | G01N21/958 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微米 量级 玻璃 表面 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【说明书】：
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