[发明专利]磁浮导轨及其气隙厚度控制方法在审
| 申请号： | 201610285806.9 | 申请日： | 2016-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN107327482A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 季汉川;杨晓峰;陈庆生 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/04 | 分类号： | F16C32/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导轨 及其 厚度 控制 方法 | ||
1.一种磁浮导轨，其特征在于，包括动子和定子，所述动子和定子分别具有磁铁和充磁磁钢；所述磁铁和充磁磁钢形成对向磁路，在所述动子和定子之间形成气隙；所述磁铁为可转动磁铁，通过在所述动子中调整所述可转动磁铁的角度，以控制所述定子与动子之间的气隙厚度。
2.如权利要求1所述的磁浮导轨，其特征在于，所述定子上具有多个滑动槽，所述动子浮于所述滑动槽中滑动。
3.如权利要求1所述的磁浮导轨，其特征在于，所述定子还包括连接所述充磁磁钢的钢制导轨，所述充磁磁钢通过所述钢制导轨与所述动子产生斥力。
4.如权利要求1所述的磁浮导轨，其特征在于，还包括导磁轴和旋转调节头，所述可转动磁铁通过导磁轴连接旋转调节头，通过所述旋转调节头调整所述可转动磁铁的角度。
5.如权利要求4所述的磁浮导轨，其特征在于，还包括连接所述旋转调节头的减速器，用于控制所述旋转调节头的转动。
6.如权利要求2所述的磁浮导轨，其特征在于，所述动子和定子上分别设置水平刚度磁铁以维持所述磁浮导轨的水平刚度。
7.如权利要求6所述的磁浮导轨，其特征在于，所述定子上的水平刚度磁铁位于所述滑动槽的顶部。
8.如权利要求6所述的磁浮导轨，其特征在于，所述定子上的水平刚度磁铁位于所述滑动槽的底部。
9.一种如权利要求1、4-8任意一项所述磁浮导轨的气隙厚度控制方法，其特征在于，包括：
所述磁浮导轨工作时，通过可转动磁铁的角度调整产生磁路变化，使总体磁浮力跟随角度变化在零到最大浮力的之间线性可调，以控制气隙厚度；
所述磁浮导轨不工作时，所述可转动磁铁旋转至其他偏角以将所述磁浮力消除；
所述其他偏角为对应磁浮力降为0的偏角。
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