[发明专利]侧立镜组及其安装方法有效
| 申请号: | 201610285798.8 | 申请日: | 2016-04-29 | 
| 公开(公告)号: | CN107329225B | 公开(公告)日: | 2020-06-16 | 
| 发明(设计)人: | 汪明天;刘国淦 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 
| 主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02 | 
| 代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 | 
| 地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 侧立镜组 及其 安装 方法 | ||
本发明提供一种侧立镜组及其安装方法,该镜组包括镜框和光学镜片,对称分布于镜框垂直中心线两侧与镜框一体化成型设置的两个硬支撑点,每个硬支撑点与光学镜片直接接触连接;在光学镜片的底部设置有通过调整螺钉接触连接的弹性支撑件;镜框的顶部设置有用于限定光学镜片产生径向位移的压紧螺钉。该方法包括,将光学镜片侧立放置在镜框的硬支撑体上;通过压紧螺钉施加给光学镜片一定大小的力,将光学镜片与每个硬支撑点均相抵;调整用于支撑光学镜片的弹性支撑件的支撑力,锁紧调整螺钉;安装一个以上的预紧簧片,对点胶孔进行点胶,以固定连接镜框与光学镜片;安装轴向限位块。本发明具有稳定性较高、面型精度较高的效果,有利于实现工程化。
技术领域
本发明涉及一种镜组,特别涉及一种侧立镜组及其安装方法。
背景技术
高精密光学镜头的加工和制造是一个非常复杂的过程,随着对光学系统成像质量要求越来越高,不仅光路越来越复杂,光学元件越来越多,而且要求光学元件有微米级的定位精度,同时还需要保持十纳米级的面型精度。
在折反射型镜头中,光轴除了有竖直走向,还有水平走向,即光学元件除了水平安装,还需侧立安装。重力对水平放置的光学元件的作用与对侧立放置的光学元件的作用完全不同,当光学元件直径较大(大于200mm)时,镜片重力的作用不能忽视,装夹方式必须考虑重力因素,而此时水平安装的装夹方式往往不再适用于侧立安装。水平安装的镜片常采用周围点胶的方式固定,光学元件胶接在镜框上,但这种方式在侧立安装的情况下,面型较差,往往达到几百纳米的面型变化。
另一种常用的光学元件侧立安装方法,是V型固定法,即下侧水平对称的两点支撑镜片,效果如V型块,上侧有一点安全挡块。这种方式光学元件重力主要作用在下侧两点上,造成应力集中,面型变化较大。装夹方式对镜片产生的应力将直接影响镜片面型,为了得到较高的面型精度,常采用无应力安装方法。
又一种光学元件无应力侧立安装方法是条带法,即将光学元件放置在条带上,光学元件外圆下侧与条带吻合,实现均匀的柔性支撑,面型变化较小。考虑到实际工程中会遇到搬运、震动等因素,这种安装结构往往适用于试验,不利于工程化。
再一种光学元件无应力侧立安装方法,是底部多点弹性支撑的方式,即将光学元件放置在多个弹性上,通过计算各柔性件在径向上的受力,实现均匀的弹性支撑,面型变化较小。考虑到实际工程中,该组件水平装配,侧立使用的特点,镜片的偏心和倾斜可控性差,且集成时各弹簧的装配不方便等问题,其往往适应于试验,不利于工程化。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是,克服以上不足,提供了一种稳定性较高、面型精度较高,以及有利于实现工程化的侧立镜组。
为了解决上述技术问题,本发明的技术方案是:一种侧立镜组,包括侧立设置的镜框,侧立安装在所述镜框内的光学镜片,对称分布于所述镜框垂直中心线两侧的硬支撑点、且每个所述硬支撑点位于所述镜框的水平中心线的下方,每个所述硬支撑点均与所述光学镜片直接接触连接;在位于所述光学镜片的底部正下方设置有弹性支撑件,所述弹性支撑件通过贯穿于所述镜框的底部正下方的调整螺钉接触连接;所述镜框的顶部正上方贯穿有用于限定所述光学镜片产生径向位移的压紧螺钉。
进一步的,本发明提供的侧立镜组,所述镜框与所述光学镜片之间通过点胶孔内的胶固定连接,所述点胶孔贯穿于所述镜框,对称分布于所述镜框的垂直中心线的两侧,且位于所述镜框的水平中心线上方。
进一步的,本发明提供的侧立镜组,对称分布于所述镜框的垂直中心线的两侧的两个所述点胶孔成30至170度的夹角设置。
进一步的,本发明提供的侧立镜组,对称分布于所述镜框垂直中心线两侧的两个所述硬支撑点成30至120度的夹角设置。
进一步的,本发明提供的侧立镜组,还包括用于校正所述光学镜片产生轴向位移的支撑夹紧机构。
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