[发明专利]激光辅助放电极紫外光源预电离等离子体电子温度测量方法在审
| 申请号: | 201610279298.3 | 申请日: | 2016-04-28 | 
| 公开(公告)号: | CN105739249A | 公开(公告)日: | 2016-07-06 | 
| 发明(设计)人: | 赵永蓬;王骐;徐强 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 | 
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 | 
| 代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人: | 岳昕 | 
| 地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光 辅助 电极 紫外 光源 电离 等离子体 电子 温度 测量方法 | ||
1.激光辅助放电极紫外光源预电离等离子体电子温度测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一、使激光器发出的激光脉冲经过聚焦系统后作用在Sn靶上,产生Sn的初始等离子体,测量所述初始等离子体的发射光谱;
步骤二、从初始等离子体的发射光谱中选取至少两条谱线,所选取的所有谱线至少对应两个不同的上能级,读取每条谱线的波长和强度,根据所述谱线的波长、强度及原子参数,计算得到等离子体的电子温度。
2.根据权利要求1所述的激光辅助放电极紫外光源预电离等离子体电子温度测量方法,其特征在于,步骤二中选取的谱线的数量为三条,且三条谱线对应三个不同的上能级。
3.根据权利要求1所述的激光辅助放电极紫外光源预电离等离子体电子温度测量方法,其特征在于,步骤二中计算等离子体电子温度的具体为:
步骤二一、查找每条谱线对应的自发辐射几率A、上能级权重g和上能级激发能E,
步骤二二、计算每条谱线对应的值,其中,λ为该谱线的波长,I为该谱线的强度;
步骤二三、将N条谱线的E值和值拟合成一条直线,E为横坐标,为纵坐标,得到该直线的斜率根据所述斜率计算得到电子温度kT。
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