[发明专利]一种化验室废气、废液回收处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及多晶硅生产领域，尤其涉及一种化验室废气、废液回收处理装置。

背景技术

氯硅烷是多晶硅生产的中间产物，要通过对其杂质、组分含量的检测监控整个生 产，进而保证产品质量。氯硅烷中杂质含量的检测属于痕量分析，须在ICP-MS千级实验室内 进行，由于分析检测过程的要求及实际情况，每次检测样品前处理需排放出氯硅烷达400~ 500mL。氯硅烷是一种易溶于水、易燃、易爆、腐蚀性强且具有刺激性气味的有害气体，很容 易污染环境并且有损工作人员的健康。因此，对排放的氯硅烷及混合气体必须进行正确的 处理。

文献“化学实验室废气治理现状与方法”中报告了一种无泵水幕式吸收装置，此装 置针对无机类化学物产生的废气靠水雾来捕捉含HCl、NHO、HF等微粒，使有害物溶于水，经 水幕净化，气液分离后所排放的气体中有害物的含量降到国家环保允许排放标准，也可以 根据实际情况采用碱液来代替水对废气进行处理。其缺点是不适用于一种易燃、易爆、极易 挥发、腐蚀性强的液态原料直接挥发时产生的废气的处理。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种操作方便、安装及拆卸简单的化验室废 气、废液回收处理装置。

为解决上述问题，本发明所述的一种化验室废气、废液回收处理装置，其特征在 于：该装置包括水箱、带电源的机械泵及置于所述水箱上的连接在一起的废气处理罐Ⅰ和废 气处理罐Ⅱ、与所述废气处理罐Ⅰ相连的气液转化器；所述水箱的一侧设有液位计，其另一 侧设有出水口；所述出水口通过所述机械泵连有水管，该水管依次与所述废气处理罐Ⅱ、所 述废气处理罐Ⅰ相连；所述废气处理罐Ⅰ内设有一次过滤网，其一侧设有废气进口，且该废气 处理罐Ⅰ内的所述水管上设有一次水喷淋器；所述废气处理罐Ⅱ内设有二次过滤网，其顶部 设有废气出口/进水口，其上设有拆卸口，且该废气处理罐Ⅱ内的所述水管上设有二次水喷 淋器。

所述气液转化器通过废气进口与所述废气处理罐Ⅰ相连。

所述水管上设有压力表。

所述水管通过快接接口依次与所述废气处理罐Ⅰ、所述废气处理罐Ⅱ相连。

所述一次过滤网呈60度角，并通过连接管与呈水平设置的所述二次过滤网相连。

本发明与现有技术相比具有以下优点：

1、本发明中一次过滤网呈60度角，使过滤下来的废渣能完全通过连接管到呈水平设置 的二次过滤网上，经过处理的废渣通过拆卸口可倾倒，易于操作。

2、本发明中水箱中的水可通过机械泵循环利用，且水箱安装有液位计，可实时观 察水位；同时，水管上安装有压力表，可控制压力。

3、本发明中废气处理罐Ⅱ的顶部设有废气出口/进水口，可通过实验室通风柜排 空，减少实验室环境的污染和操作人员健康的危害。

4、本发明中设有一次过滤网、一次水喷淋器、二次过滤网、二次水喷淋器，能够完 全处理废气。

5、本发明中气液转化器通过废气进口与废气处理罐Ⅰ相连，可处理实验室所产生 的有毒有害废气，尤其是易燃、易爆、极易挥发、腐蚀性强且对水分敏感的废气和废液。

6、本发明安装、拆卸简单，操作方便。

附图说明

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的平面图。

图中：1—气液转化器2—废气进口3—一次水喷淋器4—一次过滤网5—连接 管6—二次过滤网7—二次水喷淋器8—废气出口/进水口9—拆卸口10—快接接口 11—水箱12—机械泵13—水管14—压力表15—出水口16—电源17—液位计18—废 气处理罐Ⅰ19—废气处理罐Ⅱ。

具体实施方式

如图1~2所示，一种化验室废气、废液回收处理装置，该装置包括水箱11、带电源16 的机械泵12及置于水箱11上的连接在一起的废气处理罐Ⅰ18和废气处理罐Ⅱ19、与废气处 理罐Ⅰ18相连的气液转化器1。