[发明专利]溅射镀膜机构

权利要求书

1.一种溅射镀膜机构，其特征在于，所述溅射镀膜机构包括所述舱室 (1)，所述舱室(1)内部的顶部固定有靶材机构(2)，所述舱室(1)相对 的内侧壁上分别设置有挡板机构，且所述靶材机构(2)位于所述挡板机构 的上方，所述挡板机构包括转轴(5)、挡板(4)和收集板(3)，所述挡板 (4)的一端通过转轴(5)连接所述舱室(1)内侧壁，使得所述挡板(4) 能以所述转轴(5)为支点上下翻转，所述挡板(4)中靠近所述靶材的一面 上可拆卸地设置有收集板(3)，所述舱室(1)下方设有运输机构(9)，所 述运输机构(9)至少包括有底仓(13)，所述底仓(13)的上表面设有多个 顺次设置的辊筒(9)，所述底仓(13)内设有多个气缸(12)，所述气缸(12) 的上端至少部分位于所述底仓(13)外部，当所述气缸(12)伸缩时，可以 将放置在所述辊筒(9)上的玻璃基片(8)顶起。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜机构，其特征在于，所述辊筒(9) 的表面上沿其轴向方向顺次套接有多个橡胶圈(11)。

3.根据权利要求2所述的溅射镀膜机构，其特征在于，所述橡胶圈(11) 的数量为4-8个。

4.根据权利要求1所述的溅射镀膜机构，其特征在于，所述气缸(12) 的上端连接有海绵体(8)。

5.根据权利要求4所述的溅射镀膜机构，其特征在于，所述玻璃基片 可以在多个所述辊筒(9)上沿第一方向滑动，多个所述气缸(12)在所述 底仓(13)内，沿所述第一方向等距分布。

6.根据权利要求5所述的溅射镀膜机构，其特征在于，所述气缸(12) 的数量为4-6个。