[发明专利]锡靶材的加工方法在审
| 申请号： | 201610257421.1 | 申请日： | 2016-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN107303634A | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;梁泽民 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P13/02 | 分类号： | B23P13/02;B23Q11/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人： | 高静,吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 锡靶材 加工 方法 | ||
1.一种锡靶材的加工方法，包括：提供锡工件；对所述锡工件进行机械加工；其特征在于，对所述锡工件进行机械加工时，采用喷雾冷却工艺对锡工件喷射切削液。
2.根据权利要求1所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，喷射切削液到锡工件的切削区。
3.根据权利要求1所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述切削液为酒精。
4.根据权利要求1所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，在所述机械加工过程中用全周夹具固定所述锡工件。
5.根据权利要求1所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述机械加工包括依次进行的第一次机械加工、第二次机械加工和第三次机械加工，第一次机械加工、第二次机械加工和第三次机械加工的精度依次渐增。
6.根据权利要求5所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第一次机械加工采用的刀具为第一刀具，所述第一刀具的硬度在HB350以上。
7.根据权利要求6所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第一刀具的材料为碳化钨基硬质合金、碳化钛基硬质合金或者金刚石。
8.根据权利要求6所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第一刀具的刀刃角度为35度。
9.根据权利要求5所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第二次机械加工采用的刀具为第二刀具，所述第二刀具的硬度在HB370以上。
10.根据权利要求9所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第二刀具的材料为碳化钨基硬质合金、碳化钛基硬质合金或者金刚石。
11.根据权利要求9所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第二刀具的刀刃角度为35度。
12.根据权利要求5所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第三次机械加工采用的刀具为第三刀具，所述第三刀具的硬度在HB400以上。
13.根据权利要求12所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第三刀具的 材料为金刚石。
14.根据权利要求12所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第三刀具的刀刃角度为35度。
15.根据权利要求5所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述锡工件的初始厚度为31mm，底面直径为350mm，待车削的量为0.5mm～1.0mm，公差在1.0mm以内；所述锡工件的目标表面粗糙度为0.3um至0.4um；在机械加工时采用全周夹具夹持所述锡工件的厚度为24mm～26mm；在机械加工时喷射酒精至锡工件的削切区；第一次机械加工采用的第一刀具的硬度在HB350以上，第二次机械加工采用的第二刀具的硬度在HB370以上，第三次机械加工采用的第三刀具的硬度在HB400以上；第一刀具、第二刀具和第三刀具的刀刃角度为35度。
16.根据权利要求15所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第一次机械加工的参数为：切削速度为480m/min～520m/min，进给量为0.09mm/r～0.11mm/r，吃刀量为0.09mm～0.11mm。
17.根据权利要求15所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第二次机械加工的参数为：切削速度为590m/min～610m/min，进给量为0.075mm/r～0.085mm/r，吃刀量为0.045mm～0.055mm。
18.根据权利要求15所述的锡靶材的加工方法，其特征在于，所述第三次机械加工的参数为：切削速度为695m/min～705m/min，进给量为0.045mm/r～0.055mm/r，吃刀量为0.015mm～0.025mm。
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