[发明专利]一种基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器

权利要求书

1.一种基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，包括激光芯片和液体制 冷器，该液体制冷器内部具有液体制冷回路；其特征在于：液体制冷器的上 表面设置有第一绝缘层，在第一绝缘层上设置有第一导电导热层；第一导电 导热层分为互相绝缘的两个区域，分别作为正极区和负极区，其中激光芯片 的正极面直接键合于所述正极区，激光芯片的负极面通过金线与所述负极区 连接。

2.根据权利要求1所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：液体制冷器的下表面设置有第二绝缘层，在第二绝缘层上设置有第 二导电导热层，第二导电导热层通过导电连接件连接至所述第一导电导热层。

3.根据权利要求1或2所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器， 其特征在于：所述正极区和负极区是由第一导电导热层分割而成的两个保持 间距的区域，两者之间为空或者采用绝缘介质阻隔。

4.根据权利要求3所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：所述第一导电导热层和第一绝缘层为一体结构。

5.根据权利要求4所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：所述第一导电导热层和第一绝缘层采用DBC结构或者DPC结构， 其中绝缘部分采用氮化铝陶瓷或者氧化铍陶瓷。

6.根据权利要求3所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：所述导电连接件采用U型连接片的结构形式，U型连接片由两个平 行端直部和连接这两个平行端直部的弯折端部构成；所述第二导电导热层作 为U型连接片的第二平行端直部与第二绝缘层表面贴合，该U型连接片的第 一平行端直部贴合于所述正极面上未与激光芯片键合的区域，并避免与负极 面接触。

7.根据权利要求6所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：所述U型连接片与激光芯片相对分别位于液体制冷器的两端，设两 者连线的方向为轴向，则U型连接片的弯折端部的设置方位满足U型开口方 向为轴向。

8.根据权利要求3所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：所述导电连接件是自第一导电导热层贯穿液体制冷器至第二导电导 热层形成的内部连通管道；该内部连通管道中设置有导电介质，或该内部连 通管道自身具有导电性。

9.根据权利要求3所述的基于绝缘热沉的液体制冷半导体激光器，其特 征在于：绝缘材料是从氮化铝陶瓷、氧化铍陶瓷和聚酰亚胺中任意选取，第 一导电导热层为铜箔。

10.一种高功率液体制冷半导体激光器叠阵，其特征在于：以权利要求2 所述的液体制冷半导体激光器为单元；

由多个液体制冷半导体激光器沿激光芯片的慢轴依次排列构成，或者由 多个液体制冷半导体激光器沿激光芯片的快轴依次叠加构成。