[发明专利]一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉在审
| 申请号： | 201610247970.0 | 申请日： | 2016-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN105648530A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 余剑云;李庆跃;李凯;张会选;徐峰 | 申请（专利权）人： | 黄山市东晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 沈陈;杨大庆 |
| 地址： | 245200 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 在线 更换 籽晶 泡生法 蓝宝石 晶体生长 | ||
1.一种可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，包括主炉腔、炉盖、 提拉系统、籽晶杆、籽晶和真空系统，其特征在于：还包括管体、副炉腔、 电动挡板阀和炉台控制系统；其中，所述主炉腔通过橡胶圈与炉盖密封连接， 主炉腔侧面连接至真空系统；所述炉盖与副炉腔通过电动挡板阀隔开，炉台 控制系统与电动挡板阀线路相连用于控制电动挡板阀的开闭；在副炉腔的一 侧还设置有用于向副炉腔内部输入冷却气体的冷却阀，另一侧设有用于开启 副炉腔的炉门；副炉腔的上端与管体下端密封，管体上端与提拉系统相连接； 所述籽晶杆安装在提拉系统上，并向下延伸依次穿过管体、副炉腔和炉盖， 最终到达主炉腔的内部；所述籽晶装设在籽晶杆底端。
2.如权利要求1所述可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，其特 征在于：所述管体为波纹管。
3.如权利要求1或2所述可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉， 其特征在于：所述副炉腔上端与管体下端之间还设有连接装置。
4.如权利要求3所述可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，其特 征在于：还包括设置在籽晶杆下端的籽晶夹套，该籽晶夹套上设有籽晶夹， 所述籽晶固定在籽晶夹上。
5.如权利要求4所述可在线更换籽晶的泡生法蓝宝石晶体生长炉，其特 征在于：所述籽晶杆处于主炉腔与副炉腔的中心。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄山市东晶光电科技有限公司，未经黄山市东晶光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610247970.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种六瓣再生中空聚酯短纤维用喷丝板
- 下一篇：用于多晶硅定向凝固工艺的多晶炉
