[发明专利]一种晶圆氧化用高温扩散炉管

权利要求书

1.一种晶圆氧化用高温扩散炉管, 包括炉管本体（1），其特征在于：所述炉管本体（1）内具有内腔（2），在所述炉管本体（1）的一端设有第一进气口（3），所述第一进气口（3）上设有第一匀气装置（4），所述第一匀气装置（4）连接外部的第一进气管（5），在所述炉管本体（1）的另一端设有第二进气口（6），所述第二进气口（6）上设有第二匀气装置（7），所述第二匀气装置（7）连接外部的第二进气管（8），且所述第一进气口（3）设置在炉管本体（1）一侧的上端，所述第二进气口（6）设置在炉管本体（1）另一侧的下端，在所述炉管本体（1）的下端设有尾气排放口（9），所述尾气排放口（9）设有过滤装置（10），所述过滤装置（10）连接外部的尾气管道（11）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆氧化用高温扩散炉管，其特征在于：所述第一匀气装置（4）和第二匀气装置（7）结构完全一致，包括耐高温框架（12），在所述耐高温框架（12）一端设有进气口（13），所述耐高温框架（12）内设有第一匀气层（14）、第二匀气层（15）、第三匀气层（16），且所述第一匀气层（14）、第二匀气层（15）、第三匀气层（16）与耐高温框架（12）垂直交错布置，在所述耐高温框架（12）的另一端设有微孔材料层（17），所述微孔材料层（17）包括基材层（18）、粘合层（19）、聚四氟乙烯微孔膜层（20），所述基材层（18）通过粘合层（19）连接聚四氟乙烯微孔膜层（20），所述聚四氟乙烯微孔膜层（20）的微孔孔径为1微米-20微米。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆氧化用高温扩散炉管，其特征在于：所述过滤装置（10）包括筒体（21），所述筒体（21）为“T”字形结构，所述筒体（21）的底部设有密封层（22），在所述筒体（21）的侧壁上均匀设有若干个微孔（23），且呈环状分布在筒体（21）的侧壁。