[发明专利]半绝缘自支撑氮化镓材料表面欧姆接触的制备方法

权利要求书

1.一种半绝缘自支撑氮化镓材料表面欧姆接触的制备方法，其特征在于包括：

s11、在氮化镓材料镓面蒸镀Ti/Al/Ni/Au四层金属，所述Ti/Al/Ni/Au四层金属厚度分别为20~25nm、120~130nm、20~50nm、100~150nm；

s12、在氮气气氛下退火，形成欧姆接触，其中采用的退火温度850~890℃，退火时间25~30秒。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤s11还包括：对镓面使用丙酮清洗3~5min，再使用异丙醇清洗3~5min，最后用去离子水冲洗并用氮气吹干，之后进行蒸镀。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤s12中所述欧姆接触的电极图形为圆形传输线结构。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于包括：通过探针对镓面欧姆接触进行接触测量，获得电流电压曲线，以计算氮化镓材料的电阻率。

5.一种半绝缘自支撑氮化镓材料表面欧姆接触的制备方法，其特征在于包括：

s21、对氮化镓材料氮极性面进行表面处理，采用感应离子耦合刻蚀氮极性面以去除表面损伤层，通过退火进行表面修复，其中刻蚀所需气体分别为：Cl₂流量为80~85sccm，BCl₂为10~15 sccm，刻蚀时间为3~5min，退火温度为400℃~500℃，退火时间为5min~10min；

s22、在氮化镓材料氮极性面蒸镀Ti/Al/Ni/Au四层金属，形成欧姆接触，所述Ti/Al/Ni/Au四层金属厚度分别为20~25nm、120~130nm、20~50nm、100~150nm。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，步骤s21包括：对氮极性面使用丙酮清洗3~5min，再使用异丙醇清洗3~5min，最后用去离子水冲洗并用氮气吹干，之后进行表面处理。