[发明专利]一种复合传感器

说明书

技术领域

本发明实施例涉及传感器技术领域，尤其涉及一种复合传感器。

背景技术

传感器是一种检测装置，能够感受到被测量的信息，并将感受到的信息按 照一定的规律变换成为电信号或者其它所需形式的信息输出，给人以直观的感 受。

压力传感器和加速度传感器是较常用的两类传感器，且两者经常被同时使 用。为了在压力传感器和加速度传感器同时使用时较方便，现有技术中常将两 者集成在一起，形成一个整体，实现压力传感和加速度传感的集成。目前，将 压力传感器和加速度传感器集成在一起的方案主要有两种：一种是在同一平面 内制作压力传感器和加速度传感器；另一种是将压力传感器嵌入到加速度传感 器的质量块中。

上述第一种方案虽然能够实现压力传感和加速度传感的集成，但集成芯片 的尺寸较大。上述第二种方案虽然能够减小两者集成后的芯片尺寸，但是，实 际应用中，为了保护加速度传感器的可动结构，通常都会在其上设置保护盖板， 为了调整加速度传感器的动态性能，保护盖板与加速度传感器可动结构之间做 成密封空腔，密封后的空腔内部做成真空或者填充一定压强的惰性气体(例如 氮气)来调节空气阻尼，如果将压力传感器嵌入到加速度传感器的质量块中， 经过保护盖板的密封后，压力传感器就与外部隔绝，失去了检测功能，即：经 上述第二种方案后，压力传感器和加速度传感器集成后仅能实现加速度传感， 不能实现压力传感。

发明内容

本发明实施例提供一种复合传感器，以解决现有技术中将压力传感器和加 速度传感器集成的方案不能够同时实现压力传感和加速度传感，以及两者集成 后的芯片尺寸较大的问题。

为达此目的，本发明实施例采用以下技术方案：

一种复合传感器，包括：至少一个加速度传感器；

所述加速度传感器的顶部包括有保护盖板；

所述加速度传感器中的部分结构复用为至少一个压力传感器的部分结构， 其中，部分或全部所述保护盖板复用为所述至少一个压力传感器的压力敏感膜；

所述至少一个压力传感器的剩余结构设置在所述保护盖板之上。

进一步地，所述加速度传感器包括密封腔；

所述密封腔位于所述保护盖板之下；

所述密封腔复用为所述压力传感器的压力腔。

进一步地，所述密封腔为真空腔或者所述密封腔中填充有惰性气体。

进一步地，所述保护盖板的下表面设置有吸气剂材料层。

进一步地，所述保护盖板中设置有至少一个压力腔；

所述压力腔的数量和所述压力传感器的数量相同。

进一步地，所述压力腔为密封腔。

进一步地，所述加速度传感器为压阻式或者电容式。

进一步地，所述压力传感器为压阻式或者电容式。

本发明实施例提供的复合传感器，通过将至少一个加速度传感器中的部分 结构复用为至少一个压力传感器的部分结构，且将至少一个压力传感器的剩余 结构设置在加速度传感器中的保护盖板之上，实现了至少一个压力传感器与至 少一个加速度传感器的集成，能够减小至少一个压力传感器和至少一个加速度 传感器集成后芯片的尺寸，进而能够降低成本；由于部分或全部保护盖板复用 为压力传感器的敏感膜(即：压力传感器的敏感膜暴露在外面)，因此，不仅能 够实现加速度检测，还能够实现压力检测，即：能够同时实现加速度检测和压 力检测。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明 的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是本发明实施例一提供的复合传感器的结构的剖视示意图。

图2是本发明实施例二提供的复合传感器的结构的剖视示意图。

图3是本发明实施例三提供的复合传感器的结构的剖视示意图。

图4是本发明实施例四提供的复合传感器的结构的剖视示意图。

图5是本发明实施例五提供的复合传感器的结构的剖视示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此 处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需 要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部内 容。