[发明专利]一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪

权利要求书

1.一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，包括：待测激光源、两 个半波片、偏振分光镜PBS、两个反射镜、两个声光移频器、聚焦镜、滤波孔、准直 镜、分光棱镜BS、扩束镜与探测器；其中：

待测激光源出射的经过半波片1后射入PBS，由PBS将激光分为两束；

其中一束激光依次经过半波片2、反射镜1、声光移频器1、声光移频器2、聚焦镜、 滤波孔与准直镜后作为参考光射入BS；另一束激光作为待测光经过反射镜2后射入BS；

通过BS将参考光与待测光合束干涉，并经过扩束镜扩束后射入探测器。

2.根据权利要求1所述的用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，其中 一束激光进入声光移频器1进行移频后，移频后的+1级光进入声光移频器2，声光移频器2 出射的-1级光经透镜聚焦后经过滤波孔，再由准直镜对滤波孔出射的激光进行准直，准直 后的光束作为参考光束。

3.根据权利要求1所述的用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，两个 声光移频器的移频量不同，差频后为几赫兹或几十赫兹量级的低差频。

4.一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，包括：待测激光源、两 个半波片、偏振分光镜PBS、两个反射镜、两个声光移频器、两个聚焦镜、滤波孔、准 直镜、分光棱镜BS与探测器；其中：

待测激光源出射的经过半波片1后射入PBS，由PBS将激光分为两束；

其中一束激光作为参考光，依次经过半波片2、反射镜1、声光移频器1、声光移频器 2、聚焦镜1与滤波孔后射入BS；另一束激光作为待测光依次经过反射镜2与聚焦镜2后射 入BS；

通过BS将参考光与待测光合束干涉，并经过准直镜准直后射入探测器。

5.根据权利要求4所述的用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，其中 一束激光进入声光移频器1进行移频后，移频后的+1级光进入声光移频器2，声光移频器2 出射的-1级光经透镜聚焦后射入滤波孔。

6.根据权利要求4所述的用于激光波前检测的低频外差干涉仪，其特征在于，两个 声光移频器的移频量不同，差频后为几赫兹或几十赫兹量级的低差频。