[发明专利]一种基于石墨烯的表面等离子激元电吸收光调制器

权利要求书

1.一种基于石墨烯的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，包括：

衬底，在衬底上叠放的第一微纳波导和第二微纳波导，位于第一微纳波导和第二微纳波导之间的介质层和第一单层石墨烯，以及分别与所述第一微纳波导和第二微纳波导连接并用以施加调制电压的第一电极和第二电极；

所述的第一微纳波导和第二微纳波导中的至少一种为金属波导；

所述的第一单层石墨烯位于其中一个金属波导和介质层之间；

且其中一个电极通过所述的第一单层石墨烯与对应的金属波导连接。

2.如权利要求1所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述的衬底为上表面具有氧化硅层的硅基衬底。

3.如权利要求1所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述的第一微纳波导为半导体波导或金属波导，所述第二微纳波导为金属波导。

4.如权利要求1或3所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述金属波导的在50nm到300nm之间。

5.如权利要求1所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述介质层的下界面处设有第二单层石墨烯，第二单层石墨烯与所述的第一电极相连，第一单层石墨烯与所述的第二电极相连。

6.如权利要求5所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述的第二单层石墨烯和第一单层石墨烯分别位于所述介质层的两侧。

7.如权利要求1所述的表面等离子激元电吸收光调制器，其特征在于，所述的介质层的材料为氧化铝或氧化硅。