[发明专利]一种用于电子背散射衍射仪的样品台

说明书

本发明实施例公开了一种用于电子背散射衍射仪的样品台，涉及岩石样品分析测试领域，能够在保证实验的安全性的同时满足样品尺寸大、导电性差的样本进行有标样的测试需求。本发明包括：样品台的固定面与底座呈70°夹角，固定面上开有凹槽，凹槽用于安装并固定薄片样品，凹槽与薄片样品的尺寸吻合；凹槽的深度与薄片样品的厚度一致，当薄片样品安装在凹槽中时，薄片样品的待测表面与固定面的表面处于同一平面。固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽，标样凹槽的深度与单晶硅标样的厚度一致，当单晶硅标样安装在标样凹槽中时，单晶硅标样的待测表面与固定面的表面处于同一平面。本发明适用于尺寸大、导电性差的样本的有标样测试。

技术领域

本发明涉及岩石样品分析测试领域，尤其涉及一种用于电子背散射衍射仪的样品台。

背景技术

电子背散射衍射(Electron backscatter diffraction，EBSD)技术通过观测反向散射电子的衍射图像来提供微米级的晶体空间取向信息，能够准确快捷地确定矿物晶体的晶格优选定向和多相岩石中各矿物的空间分布，因此在材料科学、地质学、冶金学等领域有着广泛的应用。

目前常用的EBSD以扫描电子显微镜为载体，由一个用以成像的荧光磷屏和一台用来摄取衍射图像的高灵敏度CCD数字相机组成，其中的背散射(BSE)探头和EBSD探头分别处于实验坐标系的Z轴和Y轴。在实验过程中，需要通过样品台将精细抛光的样品以高角度逐步倾斜70°后进一步靠近BSE探头和EBSD探头至实验距离，之后采用高能电子束轰击呈70°样品表面，之后将轰击产生的衍射图像传输至终端计算机，从而确定晶体类型、取向、晶体间的夹角(位向差)、晶体粒度、晶界类型以及重位点阵晶界分布等特征。

由于大部分地学类的样品，通常会制作成岩石薄片，或者是厚度较大的块状样品。当使用样品台的旋转机构的五轴马达进行旋转时，样品表面与BSE探头和EBSD探头之间的距离很短，尤其是针对样品尺寸大、导电性差的样品时，需要控制五轴马达极度靠近BSE探头和EBSD探头，才能满足实验测试的需求。样品台以高角度逐步倾斜时的移动的空间非常有限，且样品尺寸大时移动位置较大，很容易碰撞BSE探头或EBSD探头，降低实验的安全性。

发明内容

本发明的实施例提供一种用于电子背散射衍射仪的样品台，能够在保证实验的安全性的同时满足样品尺寸大、导电性差的样本进行有标样的测试需求。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

所述样品台的固定面与底座呈70°夹角，所述固定面上开有凹槽，所述凹槽用于安装并固定薄片样品，所述凹槽与所述薄片样品的尺寸吻合；所述凹槽的深度与所述薄片样品的厚度一致，当所述薄片样品安装在所述凹槽中时，所述薄片样品的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面。

所述固定面上开有用于安装单晶硅标样的标样凹槽，所述标样凹槽的深度与所述单晶硅标样的厚度一致，当所述单晶硅标样安装在所述标样凹槽中时，所述单晶硅标样的待测表面与所述固定面的表面处于同一平面。

所述样品台的中部，开有一立方体孔洞，所述立方体孔洞用于安装块状样品。所述立方体孔洞的内表面填充固体导电胶，当所述块状样品接触所述固体导电胶并安装在所述立方体。

所述样品台由纯铜材料制成，或者由导电性大于等于纯铜的材料制成。

本发明实施例提供的用于电子背散射衍射仪的样品台，固定面与底座固定设置且角度为70°，实现了在实验过程中样品台的Z轴的固定不变，而只移动X和Y轴，从而避免通过五轴马达旋转固定面时样品表面与BSE探头碰撞问题并减小与EBSD探头的碰撞问题，尤其能够在保证实验的安全性的同时满足样品尺寸大、导电性差的样本进行有标样的测试需求。

附图说明